五大联赛下注-官方网站 军事 五大联赛下注:应用Ar离子束对黑磷进行层数可控的减薄研究

五大联赛下注:应用Ar离子束对黑磷进行层数可控的减薄研究

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BP使用接近45-48eV的单个能量离子能量的Ar离子束,以约0.55nm/min的速度薄到双BP,可以改变表面坚硬或表面的化学键状态。同时,Ar离子束可以从原料BP中去除BP氧化物。

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利用薄的双层~10层BP生产的2DBP场效应晶体管(FET),显示出与整个BP场效应晶体管相似的电学性能。实验结果表明,单能离子能量的Ar离子束还原工艺不会破坏2D层BP材料的电学性能。

该研究结果在2017年10月16日发行的《JournalofMaterialsChemistryC》中公开。北京AdvancedLKJ系列离子束光刻系统,为标准化离子束光刻系统,除了现有的微或结构光刻外,还提供了离子束去除、材料表面抛光、材料减少等功能。化学辅助离子束光刻(CAIBE)和反应离子束光刻(RIBE)也是可能的。

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